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    管式電爐

    石墨烯生長爐(PECVD)



    產品說明:    
    石墨烯生長爐由YB-GT管式爐+真空系統+供氣系統+水冷系統組成 ,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。
    KJ-1200T管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件,采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表,能進行30段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點。
    軟件控制系統:該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出
    。

    一:基本參數:
    1: 加熱爐部分
    2 :爐膛模式 開啟式爐膛
    3 :顯示模式 觸摸屏
    4: 極限溫度 1400℃
    5 :工作溫度 ≤1350℃
    6: 升溫速率 建議10℃/Min   Max:30℃/Min
    7 :預熱溫區長度 150mm
    8 :主溫區長度 300mm
    9 :預熱溫區移動 手動移動
    10: 主溫區移動 自動移動,速度可以設定
    二:設備特點
    1: 設備規格 2000*85*1400mm(長*寬*高)
    2: 爐管長度 2000mm
    3: 控溫精度 ±1℃
    4: 密封方式 快速法蘭密封
    5 :溫度曲線 30段"時間—溫度曲線"任意可設
    6:預存曲線 可預存15條溫度曲線
    7: 超溫報警
    8:過流保護
    9: 斷偶提示
    10: 測溫元件 s型熱電偶
    11: 爐膛材料 氧化鋁纖維
    12: 射頻電源功率
    13: 信號頻率 13.56 MHz±0.005%
    14: 功率輸出范圍 5W-500W
    15: 功率穩定度 ±0.1%
    16: 諧波分量 ≤-50dbc
    17 :供電電壓 單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ
    18: 整機效率 >=70%
    19: 功率因素 >=90%
    20 :冷卻方式 強制風冷
       真空部分
    1:工作電電壓 220V±10%  50~60HZ
    2:功率 500瓦
    3:抽氣速率 4L\s
    4: 進氣口口徑 KF25
    5:排氣口口徑 KF25
    6:轉速 1450rpm
    7:噪音 55dB
    9:極限真空 4X10-2Pa
    氣路系統
    1,2,3,4氣路采用DB07系列
    準確度:±1.5%
    重復精度:±0.2%
    響應時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec
    工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa
    整機系統特色
    正壓測量 -100Kpa---100Kpa
    真空測量  -100Kpa
    超壓保護 超壓保護值可以設定
    壓力恒定 恒定壓力值可以設定
    智能氣路 氣路系統可以編程
    氣路定時 通氣時間可以設定
    射頻工作時間設定 輝光放電時間可以設定,自動關機
    移動速度調節 移動速度可以設定
    系統真空度 5Pa

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